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D07-19F气体质量流量控制器

D07-19F气体质量流量控制器,抗电磁干扰气体质量流量控制器
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★管状分流,使用寿命长

  • 产品型号:D07-19F
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-02
  • 访  问  量:1644
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产品详情

D07-19F气体质量流量控制器,抗电磁干扰气体质量流量控制器

 

特点:

★高性能价格比、普通型产品 
★橡胶密封、模拟电路的MFC 
★管状分流,使用寿命长

D07-19F气体质量流量控制器,抗电磁干扰气体质量流量控制器介绍:

质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

 

,抗电磁干扰气体质量流量控制器技术参数:

产品型号D07-19F
产品类型抗电磁干扰
流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
重复精度±0.2% FS
线性±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
响应时间≤4sec
工作温度范围(5~45)°C
耐压3MPa
密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号(1~5)VDC,(4~20)mA
电源24V
阀类型常闭
温度系数- 无 -
零点飘移指标- 无 -
电气连接D sub 15 pins Male
工作压差范围(0.1~0.3) MPa (10slm<F.S.),(0.1~0.5) MPa (F.S.≤10slm)
漏率1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分- 无 -
表面粗糙度- 无 -
抗电磁干扰CE
重量1.2Kg
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