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S49 33/MT高低压气体质量流量计

简要描述：

S49 33/MT高低压气体质量流量计,质量流量控制器
高/低耐压可选
Z大量程30L/min
流量规格：（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
响应时间：≤8 s（T95）
准确度：± 1.0% F.S

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S49 33/MT高低压气体质量流量计,质量流量控制器

S49 33/MT高低压气体质量流量计,质量流量控制器技术指标

编号	项目	S49 33/MT
1	流量规格	(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min		(15,20,30) L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止位置	常闭
4	准确度	± 1.0% F.S	± 2.0% F.S
5	线性	±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6	重复精度	±0.2 %F.S
7	响应时间	≤8 s（T95）
8	工作压差范围	(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9	耐压	3 MPa ﹑ 10 MPa
10	工作环境温度	5℃ ～ 45℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®﹑EPDM, 或其他
13	漏率	1×10^-8 Pa.m³/s
14	接头	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它
15	输入输出信号	0 V ～ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
16	电源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
17	外形尺寸 mm	134×134×38
18	重量 kg	1.2

,质量流量控制器安装尺寸图

S49 33/MT连接线